Ako všetci vieme, na svete je len jeden výrobca, ktorý dokáže vyrobiť EUV litografiu, je to Holandsko ASML.
A dôvod, prečo je svetovo jediný, je ten, že ASML bude spájať veľa kľúčových výrobcov, ako je nemecká optická spoločnosť Zeiss (Zeiss), potom United States Cymer a potom nemecký Tom Fast Group (TRUMPF ) a tak ďalej.
Spoločnosť ASML pripútala týchto výrobcov na svoj voz investíciami, akvizíciami, vlastníctvom akcií, zakladaním výskumných centier atď. vo svete.
Nedávno sa však kľúčový dodávateľský reťazec ASML rozbehol do čínskeho Šen-čenu, aby postavil továreň, jej dcérska spoločnosť v Šen-čene sa usadila v čínsko-nemeckom (európskom) priemyselnom demonštračnom parku Baoan.
Týmto výrobcom je nemecká Tom Fast Group (TRUMPF), je to EUV litografia ASML, jediný svetový dodávateľ laserových zdrojov.
Aké dôležité sú produkty TRUMPF v litografii EUV? Najprv mi dovoľte vysvetliť princíp EUV litografie, pochopíte.
Princíp EUV litografie, zjednodušene povedané, sa sústreďuje na tri hlavné systémy, EUV systém zdroja UV svetla, systém šošovky objektívu a systém stola.
Špecifickým procesom je použitie lasera na vybudenie 13,5 nm vlnovej dĺžky extrémneho ultrafialového svetla a potom po korekcii na vytvorenie riadeného svetelného lúča a potom sa tento svetelný lúč premietne na stôl fotomasky a potom sa premietne cez objektív. zrkadlo k expozičnému stolu a nakoniec vyleptal obvod na kremíkovej doštičke potiahnutej fotorezistom.
Jeden zo systémov zdroja UV svetla EUV sa získa bombardovaním cínovej (Sn) kovovej kvapky 30 kW výkonným CO2 laserom, jej odparením na plazmu a nakoniec získaním EUV svetla s vlnovou dĺžkou 13,5 nm.
Tento 30 kW CO2 laser poskytuje TRUMPF, jediný svojho druhu na svete.
Nepodceňujte tento CO2 laser, má 457 329 dielov, dĺžka kábla v systéme je až 7 322 metrov a hmotnosť 17 090 kg, čo je jeden z najdôležitejších komponentov jadra v EUV litografii.
Teraz TRUMPF bežal do Číny postaviť továreň, zámer je jasný, to znamená optimistický, pokiaľ ide o čínsky laserový trh, a ešte dlhodobejší pohľad, optimistický ohľadom čínskeho trhu litografie, budúcnosť môže spolupracovať s Čínou na budovaní EUV litografie .
V skutočnosti už existuje viac ako jeden dodávateľský reťazec ASML, ktorý beží do Číny na vybudovanie továrne, predtým, ako tam budú KMWE a iní výrobcovia, tiež do Číny na výstavbu továrne.
Podľa súčasného trendu môžeme optimisticky očakávať, že už nebude dlho trvať a čínska litografická technológia bude veľkým krokom vpred a dokonca aj objem výstupnej EUV litografie sa má tiež na čo tešiť, čo myslíte?
